高精度面形自动检测平台SHARPeR 源于“欧洲之星”研发项目，用于检测米级超精密镜面光学质量。
产品特点：
• 镜面面形XY斜率(坡度)测量精度: < 50 nrad
• 绝对波前测量精度：λ/1000
• 最大检测尺寸: 1.5 m (可定制 2 m～3 m）
• 可对水平或竖直放置的镜面进行自动检测
• 可对镜面旋转和倾斜
• 可绘制二维坡度图和轮廓图
• 自动检测及分析软件StitchWave
应用领域：
• 同步辐射加速装置中，X射线成像与压弯聚焦镜的面形精度与像差分析
• 大型天文望远镜、EUV光刻系统所用抛面镜, 平面镜的面形精度与像差分析
规格指标：
可测镜面曲率半径范围 | ±1.7 m ~ ±∞ |
空间采样间隔 | 1.2 mm |
可测最大面形斜率 | ±4 mrad |
可测最大镜面长度 | 1.5 m |
可测镜面宽度 | 300 mm (典型值) |
平台最大旋转角度 | 305° |
平台最大倾斜角度 | ±5° |
采样时间 | 10 min / 300 mm (当单向扫描时) |
供电功耗 | < 3 W |
平台尺寸 (长´宽´高) | 2.5 m × 1.1 m × 1.7 m |
重量 | 5700 kg |
