HASO EUV
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HASO EUV

  极紫外波前传感器HASO EUV 基于Hartmann技术,主要用于极紫外、软X射线等超短波长光束及其光学系统的特性分析、准直装调。它能够同时对相位和强度进行直接测量,测量快速、准确;对环境震动不敏感,是极紫外科研与工业领域波前检测的理想选择。

产品特点:

  ●  极高的绝对测量精度和重复性精度

  ●  高空间分辨率

  ●  高动态范围

  ●  在 4~40 nm (30~300 eV) 波段的优化设计

  ●  可进行多光束测量

  ●  兼容相干光源和非相干光源

  ●  兼容洁净高真空环境

  ●  可以测量PSF、MTF、M2、Strehl ratio等参数

  ●  可提供三种语言的软件开发包:C,LabVIEW,MATLAB

应用领域:

  ●  高次谐波、同步辐射光源、自由电子激光、激光驱动的二次光源等光束准直和分析

  ●  自适应光学,如:极紫外光学系统的自动准直以及微米/纳米级聚焦

  ●  X射线环面聚焦镜的面型测量

  ●  极紫外光刻、稠密等离子体诊断

规格指标:


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产品型号

HASO EUV

通光口径(mm)

13 × 13

子孔径个数

72 × 72

空间采样间隔

~ 180 μm

曲率半径测量范围

0.5 m ~ ∞

重复性精度

~ λ/200

相对波前测量精度

~ λ/100

绝对波前测量精度

~ λ/75

倾斜测量灵敏阈

0.05 μrad

曲率测量灵敏阈

< 1×10-5 m-1

工作波段(光子能量)

4~40 nm (30~300 eV)

最小读出时间

  ~ 600 ms (@ 2 MHz digitization)  

外触发

尺寸(mm)

Φ 115 × L 270

   真空兼容性(无烃类、洁净真空)   

10-5 pa

电气接口

USB

操作系统

Win7 (x86/x64)

测量软件

WaveView


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