HASO R-Flex 产品系列
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HASO R-Flex 产品系列

  光学检测系统HASO R-Flex 产品系列包含一个HASO波前传感器,一个自准直仪,一个功率可调标准光源和可更换聚焦模块。给用户提供一个多功能的光学系统波前分析解决方案。其透射波前检测精度可达λ/100,折返波前检测精度可达λ/200。

产品特点:

  对振动和气流扰动不敏感,确保用户实现精密测量,满足用户对可靠性和重复性的严格要求。

  由于不同的用户系统要求不同,我们提供F数从1到16的聚焦模块供用户选择。用户也可根据自己系统的要求定制匹配的聚焦模块。

  HASO R-Flex 系统配有波前分析软件WaveView,可以实时显示波前像差,从而用户可以在系统装调过程中时时掌握波前情况,从而判断是否达到最佳位置。

  系统体积小巧,不仅可以同轴检测,也可以离轴检测。

  HASO R-Flex系统输出发散光束,这使得测量大口径光学器件或系统十分简易。

规格指标:

产品图片

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产品型号

HASO3 R-Flex 32

HASO4 R-Flex 50

HASO3 R-Flex 128

通光口径

(mm)

4.9 × 6.1

5.2 × 7.0

14.6 × 14.6

灵敏度

3 nm

相对波前

测量精度

4 nm

采样点个数

32 × 40

50 × 68

128 × 128

重量

700 g

500 g

1600 g

尺寸(mm)

98 × 70 × 114

110 × 60 × 122

80 × 194 × 270

型号

MOD

32-1

MOD

32-2

MOD

32-4

MOD

32-6

MOD

32-10

MOD

32-16

MOD

50-1

MOD

50-2

MOD

50-4

MOD

50-6

MOD

50-9

MOD

50-15

MOD

128-1

MOD

128-2

MOD

128-5.1

MOD

128-7.9

MOD

128-10

焦距(mm)

4.5

9

19

31

45

75

4.5

9

19

31

45

75

13

26

75

115

146

F数

1

2

4

6.4

10

16

1

2

3.8

6.2

9

15

1

2

5.1

7.9

10

波前

误差

(nm)

150

30

150

60

60

50

150

30

150

60

40

20

150

60

150

100

80

工作

距离

(mm)

0.6

1.2

-2.3

5.5

2

73

0.6

1.2

-2.3

5.5

2

73

0.6

1.2

33

54

90

无穷远

映像

×/

×/

×/

×/

畸变

1.0%

1.0%

3.0%

1.5%

0.7%

0.2%

1.0%

1.0%

3.0%

1.5%

0.7%

0.2%

1.0%

1.0%

3.5%

2.5%

2.0%


检测对象与检测结构:

大口径凹面镜

复杂光学系统

透镜(同轴)

透镜(离轴)

扩束器

光源

上一产品:SHARPeR
下一产品:HASO EUV
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